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更新时间:2019-07-02 10:29 浏览: 多晶硅是太阳能和微电子工业的关键原材料。随着我***太阳能产业的快速发展，对多晶硅的需求也在不断增加。目前，多晶硅技术比以往任何时候都更加活跃。主要有西门子、冶金、等离子、硅烷、流化床、熔盐电解、无氯技术。西门子方法是通过汽相沉积法生产柱状多晶硅。为了提高原料的利用率，采用闭环生产工艺改进了西门子方法。后的西门子生产能力约占世界总产量的80%。
在西门子法律体系中，对高纯度多晶硅的制备有很多研究。等采用催化化学气相沉积法制备多晶硅薄膜。研究了流化床中多晶硅的微观结构和颗粒生长，并对多晶硅的生产工艺进行了碳热还原法、区域熔融法等研究。采用碳热还原法将高纯度碳还原二氧化硅制成多晶硅，区域熔融法是利用金属定向凝固原理，将金属级硅净化为太阳能硅。
氯硅烷分离纯化过程中蒸馏塔排放的废气含有氯硅烷、氮、硅烷、氢、氮、氯、氯化氢的多晶硅还原炉更换清洗气体和多晶硅还原炉排放瓦斯事故,被送到废气洗涤器组,()在盐酸溶液洗涤水、废气的氯硅烷与水反应和删除: